RQS-HFM系列为一款可以高精度测量空气、氧气和其它非腐蚀性气体流量的热膜式流量传感器，通过热式原理进行流量测量。该传感器特殊的流道设计使得传感器流过流体的压降非常低，这使得它非常适合医疗通气和呼吸应用。该传感器工作电压为5 V，具有模拟接口，信号经过内部处理和温度补偿。