RQS-HFC-FM为热敏电阻型流量传感芯片，通过MEMS工艺在绝热薄膜上制作若干热敏电阻元件和1个加热电阻，若干热敏电阻对称分布于加热电阻的两侧，用于测量流体流动引起加热电阻两端温度对称的变化量，芯片边缘制作有环境测温电阻，可实时监控环境温度。该传感器芯片流量测量范围0——640kg/h，具有测量灵敏度高，量程大，功耗低，响应快、稳定性高等优势。主要应用于内燃机、暖通、便携仪表（热式燃气表）等领域。